삼성전자 반도체 기술 공정 장비 통째로 중국으로 유출
[앵커] 이 초임계 세정 장비는 중국이 한국을 따라잡기 위해 가장 탐내는 기술 가운데 하나입니다. 삼성 측에서도 보안에 극도로 신경썼지만 전에 없던 수법이 동원되면서 허를 찔린 것으로 검찰은 보고 있습니다. 단독 보도, 이어서 석민수 기자입니다. [리포트] 초임계 세정장비의 가장 큰 특징, '물'을 쓰지 않는다는 데 있습니다. 반도체 초기 공정에선 기판인 '웨이퍼' 표면의 이물질을 제거하는 게 중요하고 보통은 '물'을 사용해 왔습니다. 극도로 정제한 '초순수'를 썼는데, 단점은, 그 물이 회로를 일부 훼손한다는 것이었습니다. 특히 반도체가 미세해질수록 물로 세정하면 더 문제가 됐습니다. 그래서 대안으로 개발된 게, '초임계 이산화탄소' 였습니다. 세정력도 유지하면서 기판 훼손도 줄여줘, 반도체 공정의 완..
Current events./04. 경제-산업
2022. 5. 20. 15:23
